Szczegóły Produktu:
|
Zakres przepływu/ciśnienia: | ±1000 sccm (1 SLPM) | Zero w całym zakresie temperatur: | ±0,20 mV prądu stałego |
---|---|---|---|
Powtarzalność: | ±0,50% odczytu | Czas odpowiedzi: | Typowa wartość 1 ms |
Podkreślić: | Przepływomierz masowy gazu Micro Bridge,przepływomierz masowy gazu AWM42300V,czujnik masowego przepływu termicznego Micro Bridge |
±1000 sccm Mikromostkowy czujnik masowego przepływu gazu AWM42300V
±1000 sccm mikromostkowy czujnik masowego przepływu gazu AWM42300V
Cechy:
Czujnik masowego przepływu gazu Microbridge wykorzystuje rezystancję termiczną owiniętą cienką warstwą azotku krzemu.Rezystory te są zawieszone i tworzą dwa mostki nad wnęką trawiącą płytki krzemowej.Chip jest umieszczony w kanale przepływu powietrza o najlepszej specyfikacji, aby zapewnić powtarzalną reakcję na przepływ.Wytrawiając wnękę pod mostkiem czujnika przepływu, grzałka i rezystor czujnikowy zapewniają skuteczną izolację termiczną.Niewielki rozmiar i funkcja izolacji termicznej masowego czujnika przepływu gazu z mikromostkiem zapewniają szybką reakcję i wysoką czułość na przepływ powietrza.
Sterowanie przepływem powietrza za pomocą podwójnego mostka Wheatstone'a — jeden zapewnia sterowanie nagrzewnicą w pętli zamkniętej, a drugi zawiera elementy z dwoma czujnikami.Obwód grzałki zmniejsza wahania mocy wyjściowej spowodowane zmianami temperatury otoczenia, zapewniając moc wyjściową proporcjonalną do masowego natężenia przepływu.Obwód ten utrzymuje temperaturę grzałki przy stałej różnicy temperatur powyżej temperatury otoczenia (160°C), co jest mierzone przez rezystancję termiczną na chipie.Wyjście urządzenia jest proporcjonalne do napięcia zasilania, a także odpowiada napięciu różnicowemu obwodu mostka Wheatstone'a.
Sspecyfikacje:
Typ interfejsu | Kolektor |
Pobór energii | 60 mW |
Średnia kompatybilność | Tylko suchy gaz |
Zakres temperatury kompensacji | -25°C do 85°C [-13°F do 185°F] |
Osoba kontaktowa: Xu
Tel: 86+13352990255