YJJ AGP4000H00 MEMS Wysokiej Precyzji Cyfrowy Katoda Zimna Kompozytowy Miernik próżni Pirani Miernik próżni

Opis produktu:

YJJ AGP4000H00 MEMS Wysokiej precyzji cyfrowy wakuometr kompozytowy z zimną katodą Wakuometr Pirani

Cechy:

I. Wprowadzenie do produktu

Model: AGP4000H00, pełnozakresowy wakuometr kompozytowy, zintegrowany miernik przewodności cieplnej Pirani (pomiar próżni atmosferycznej do średniej) + miernik jonizacji z zimną katodą (pomiar wysokiej próżni)

Automatyczne przełączanie w dwóch trybach, nie ma potrzeby parowania z dwoma niezależnymi manometrami. Zintegrowana sonda do pomiaru próżni ze stali nierdzewnej, wyposażona w lokalny kolorowy wyświetlacz TFT. Obsługuje również połączenie sygnału analogowego/cyfrowego ze sterownikiem PLC, ekranem dotykowym, hostem sterowania przemysłowego.

Cecha wyróżniająca: Ekran dotykowy Profililes AGP4000 jest podobny do tego modelu wakuometru, ale jest to zupełnie inny produkt. Nie należy mylić zakupu i podłączenia sprzętu.

II. Podstawowe parametry wydajności

1. Zakres pomiaru próżni (kompozyt z podwójnym manometrem)

Całkowity zakres pomiarowy: 5×10⁻⁶ Pa ～ 1×10⁵ Pa (obejmujący 6 rzędów wielkości, obejmujący pompowanie zgrubne, średnią i wysoką próżnię w całym procesie)

Zakres roboczy Pirani: 1×10⁵ Pa ～ 10 Pa (zawsze włączone przez cały proces, monitorowanie od próżni atmosferycznej do średniej)

Próg automatycznego uruchomienia z zimną katodą: <10 Pa, automatycznie rozpoczyna pomiar jonizacji dla wysokiej próżni poniżej tego poziomu próżni, nie ma potrzeby ręcznego przełączania

Jednostki miary: Pa / mbar / Torr, można przełączać trzy jednostki jednocześnie, z interfejsem chińskim i angielskim

2. Dokładność i stabilność

Błąd powtarzalności: ≤±5% odczytu

Dokładność pomiaru: ±30% odczytu w pełnej skali

Szybkość reakcji: Reakcja na poziomie milisekund Piraniego; Zimna katoda umożliwia szybki i stabilny rozruch przy wysokim napięciu

Charakterystyka przeciw zanieczyszczeniom: Zimna katoda nie ma podgrzewanego włókna wolframowego, nie ulega spaleniu przez opary oleju lub pył z powłoki, ma znacznie dłuższą żywotność niż miernik jonizacji z katodą termiczną

3. Specyfikacje zasilania elektrycznego

Napięcie zasilania: DC 15 ~ 30 V, szeroki zakres prądu stałego

Całkowity pobór mocy: ≤6W

Zintegrowany interfejs komunikacji / zasilania: zintegrowany zasilacz RJ45 + RS485

Komunikacja cyfrowa: Modbus RTU, regulowana szybkość transmisji 4800/9600/19200/115200, obsługa sieci wielu urządzeń (adresy 1~255)

Wyjście analogowe: logarytmiczne wyjście napięciowe 0~10 V, można bezpośrednio podłączyć do rejestratorów, modułów analogowych PLC

Liczba przełączań: 2 programowalne przekaźniki alarmowe, możliwość ustawienia progu wysokiego/niskiego podciśnienia w celu połączenia pomp, zaworów i lampek alarmowych

4. Mechaniczne, środowiskowe, materiały

Kołnierz próżniowy: Standardowy kołnierz szybkozłączny KF25, doskonała szczelność, umożliwia montaż pod dowolnym kątem

Materiał styku wnęki: stal nierdzewna 304/316, elektropolerowana, odpowiednia do systemów próżniowych bezolejowych i systemów próżniowych smarowanych łagodnym olejem

Zakres temperatury roboczej: 5 ℃ ~ 55 ℃

Zakres temperatury przechowywania: -20 ℃ ~ 70 ℃

Ochrona: Metalowe uszczelnienie całej maszyny, sonda odporna na kurz i łagodne zanieczyszczenia olejem

Ekran: Kolorowy wyświetlacz Micro TFT, wyświetlanie w czasie rzeczywistym wartości próżni, temperatury wewnętrznej, stanu komunikacji, dwukolorowe lampki ostrzegawcze dla wysokiej/niskiej próżni

III. Zasada działania

Wskaźnik Piraniego (zasada przewodzenia ciepła)

Wewnętrzny drut rezystora grzejnego MEMS, cząsteczki gazu pochłaniają ciepło, im wyższe ciśnienie, tym szybsze rozpraszanie ciepła, tym niższa temperatura rezystancji; obwód zbiera zmiany rezystancji i przekształca poziom próżni atmosferycznej na poziom próżni 10 Pa, pracując nieprzerwanie przez cały proces.

Wskaźnik jonizacji z zimną katodą (wyładowanie panoramiczne)

Gdy próżnia jest niższa niż 10 Pa, automatycznie ładuje wysokie napięcie, jonizacja gazu generuje prąd jonowy; im wyższa próżnia, tym mniejszy prąd jonowy, mierząc w ten sposób zakres wysokiej próżni 10Pa ~ 10⁻⁶Pa.

Wbudowany MCU automatycznie określa zakres ciśnienia, płynnie przełącza się między dwoma trybami pomiaru, równomiernie wyprowadza wartość próżni, bez potrzeby stosowania sprzętu zaplecza do przełączania logiki zakresu.

IV. Podstawowe zalety

Pojedynczy manometr pokrywa cały zakres podciśnienia, zastępując tradycyjne rozwiązanie z podwójną sondą „Pirani Gauge + Ionization Gauge”, redukując koszty sprzętu i przestrzeń instalacyjną; Zimna katoda bez żarnika, niestraszna wpływom atmosferycznym i zanieczyszczeniom powłoki, wymaga niewielkiej konserwacji, nadaje się do ciągłej 24-godzinnej produkcji przemysłowej;

Jest wyposażony w lokalny kolorowy ekran, umożliwiający odczyt wartości podciśnienia na miejscu bez konieczności używania górnego komputera, co ułatwia debugowanie i konserwację;

Posiada również podwójne wyjścia analogowe 0-10 V + cyfrowe Modbus, kompatybilne z ekranami dotykowymi Proflex, różnymi sterownikami PLC i systemami kontroli przemysłowej;

Szerokie napięcie DC15~30V, kompatybilne z szafami sprzętowymi do zasilania prądem stałym, silna kompatybilność w obiektach przemysłowych;

Uniwersalny kołnierz standardowy KF25, może bezpośrednio pasować do pomp molekularnych, pomp mechanicznych i standardowych rurociągów komór próżniowych.

VII. Główne scenariusze zastosowań

1. Półprzewodniki, sprzęt do powlekania próżniowego (aplikacja podstawowa)

Napylanie magnetronowe, maszyny odparowujące, powlekanie optyczne, sprzęt do folii przewodzącej ITO

Pakowanie płytek, czyszczenie plazmowe, sprzęt do wytrawiania, monitorowanie całego procesu pompowania zgrubnego → krzywa procesu wysokiej próżni

Wykrywanie nieszczelności w komorze próżniowej w połączeniu ze sprzętem do wykrywania wycieków helu w celu określenia punktu wycieku

2. Sprzęt laboratoryjny badawczy

Komórkowe inkubatory beztlenowe, suszarki próżniowe, piece do spiekania na gorąco

Komory do symulacji klimatu, stanowiska do badań szczelności powietrznej, urządzenia do badania starzenia próżniowego materiałów

Badania komór doświadczalnych o wysokiej próżni, monitorowanie próżni źródła jonów

3. Bateria litowa, nowy sprzęt do produkcji energii

Wypalanie próżniowe na baterii litowej, wtryskowa komora próżniowa, stacja wykrywania nieszczelności ogniw

System odparowania do odpieniania elektrolitu, sprzęt do powlekania próżniowego elektrod

4. Przemysł lotniczy, badania precyzyjne

Komory do badań próżniowych w wysokich i niskich temperaturach komponentów lotniczych, sprzęt do symulacji środowiska kosmicznego statku kosmicznego

Precyzyjne przyrządy, czujniki, stacje kalibracji próżniowej

5. Medyczny sprzęt próżniowy wspomagający

Medyczne komory podciśnieniowe, sterylny sprzęt do sterylizacji próżniowej, maszyny do liofilizacji próbek biologicznych

Aparaty oddechowe towarzyszące, sterowanie podciśnieniem (można połączyć z czujnikiem ExplorIR-M-5 CO₂)

6. Ogólna automatyka próżniowa w przemyśle

Urządzenia do adsorpcji próżniowej podciśnienia, maszyny do pakowania próżniowego, sterowanie połączeniem grupy pomp próżniowych, automatyczne uruchamianie i zatrzymywanie próżni w przypadku przekroczenia limitu w pompach mechanicznych, pompach molekularnych, zaworach odcinających.

VI. Wspierające rozwiązania interfejsowe (kompatybilne z istniejącymi materiałami)

Górny wyświetlacz: ekran dotykowy AGP4000 Proflex, odczyt wartości próżni poprzez Modbus RJ45, wykonanie krzywej, alarmu i automatycznej logiki procesu;

Połączenie gazowe: w połączeniu z czujnikiem CO₂ ExplorIR-M-5 i czujnikiem zapachu ZP152, realizuje zintegrowane monitorowanie próżni w komorze + stężenia gazu;

Kompletna maszyna medyczna: w połączeniu z hostem monitorującym sondę tlenu we krwi DS100A, używana do zintegrowanego sprzętu próżniowego medycznego + oznak życia.

Dane techniczne: