AWM42300V czujnik przepływu powietrza masowego gazu w mikrobryżu do analogicznej wyjścia gazu suchego

Opis produktu:

AWM42300V czujnik przepływu powietrza masowego gazu w mikrobryżu do analogicznej wyjścia gazu suchego

Charakterystyka:

czujnik przepływu masy gazu serii AWM40000, niewzmocniony (mV), zakres przepływu/ciśnienia: ±1000 SCCM (1,0 SLPM);Rodzaj interfejsu: Manifold.

operacja

Zasada czujnika przepływu masy gazu mikrobridge to transfer ciepła.Prędkość przepływu masy gazu jest kierowana przez powierzchnię elementu czujnika.Napięcie wyjściowe jest proporcjonalne do masy powietrza lub innego gazu przepływającego przez wejście i wyjście opakowania.Specjalnie zaprojektowana obudowa optymalnie kieruje i kontroluje przepływ powietrza przez mikrostrukturyzowane elementy czujników.Opakowanie jest mechanicznie zaprojektowane w taki sposób, aby można było go łatwo zamontować na płytce drukowanej.

Czujnik przepływu masy gazu mikrobryżu zawiera zaawansowany układ krzemowy oparty na zaawansowanej technologii mikrostruktury.Czip wykorzystuje cienką folie i adiabatyczną strukturę mostka z elementem grzewczym i czujnikiem temperatury.Struktura mostka może szybko i czule reagować na przepływ powietrza lub innych gazów przepływających przez chip.Dwa elementy czujników po obu stronach centralnego elementu grzewczego wskazują również kierunek i szybkość przepływu.Korygowana laserowo gruba folia i odporność folii zapewniają stałą wymianę pomiędzy czujnikami w każdej chwili.

Czujniki przepływu masy gazu Microbridge wykorzystują rezystory termiczne owinięte w folie azotanu krzemu.Rezystory te są zawieszone, tworząc dwa mosty nad jamą grawerową chipu krzemowego.Czip umieszczany jest w kanale przepływu powietrza o rozmiarze *** w celu zapewnienia powtarzalnej reakcji przepływu.Wykrywając otwór pod mostem czujnika przepływu, grzejnik i rezystor czujnika mogą osiągnąć skuteczną izolację termiczną.Niewielkie rozmiary i funkcja izolacji termicznej czujnika przepływu masy gazu mikrobryżowego zapewniają maksymalną szybkość reakcji i wysoką wrażliwość na przepływ powietrza.

Wheatstone Twin Bridges kontroluje pomiar przepływu powietrza - jeden zapewnia sterowanie grzejnikiem w zamkniętej pętli, a drugi zawiera podwójne elementy czujników.Obwód grzejnika zmniejsza zmienność mocy wydajnej spowodowaną zmianami temperatury otoczenia, zapewniając moc wyjściową proporcjonalną do natężenia przepływu masy.Obwód ten utrzymuje temperaturę ogrzewacza przy stałej różnicy temperatury powyżej temperatury otoczenia (160°C), który jest określany przez pomiar oporu cieplnego na chipie.Wydajność urządzenia jest proporcjonalna do napięcia zasilania i odpowiada również napięciu różnicowemu obwodu mostka Wheatstone.

Specyfikacje: