YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Miernik przepływu masy gazu cieplnego 0,5-50 SLPM 1,5MPa

Opis produktu:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA MEMS Termiczny przepływomierz masowy gazu 0,5 - 50 SLPM 1,5 MPa

Cechy:

I. Demontaż modelu (szczegółowe znaczenie każdej pozycji)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA

MF5006: Seria, DN6 (średnica wewnętrzna 6 mm, interfejs 1/4")

N2: Gaz wzorcowy = azot (N₂)

M: Zasada termicznego przepływu masowego MEMS

E: Obudowa ze stopu aluminium

0,5: Minimalny zakres 0,5 SLPM (standardowe litry na minutę przy 20°C / 1 atm.)

50: Maksymalny zasięg 50 SLPM

15: Maksymalne ciśnienie robocze 1,5 MPa

AB: Wyjście = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: Z wyświetlaczem LCD (przepływ chwilowy + skumulowany)

Odp.: Konfiguracja standardowa (bez specjalnego dostosowywania)

II. Parametry rdzenia (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)

1. Wydajność pomiaru

Mierzone medium: N₂, powietrze, O₂, Ar, CO₂ itp. Suche, czyste, bezolejowe, bez gazu kondensacyjnego

Otwór/interfejs: DN6, 1/4" gwint wewnętrzny (G1/4 lub NPT1/4)

Zakres (N₂, 20°C / 1 atm): 0,5–50 SLPM (standardowe litry / minutę)

Dokładność: ±(1,5% odczytu + 0,2% pełnej skali)

Powtarzalność: ≤±0,5%FS

Współczynnik zasięgu: 100:1 (szeroki zakres, czułość przy niskim przepływie)

Czas reakcji: ≤100 ms (szybkie śledzenie zmian przepływu)

Przepływ początkowy: niski do 8 mm/s (mierzalny bardzo mały przepływ)

2. Elektryka i moc wyjściowa

Zasilanie: 12–24 VDC ±10%, pobór mocy < 2W

Wyjście analogowe: 4–20 mA (odpowiadające 0–50 SLPM)

Komunikacja: RS485 (Modbus-RTU), zdalny monitoring sieciowy

Wyświetlacz: ekran LCD, wyświetla przepływ chwilowy (SLPM) + przepływ skumulowany

3. Mechanika i środowisko

Materiał powłoki: stop aluminium (typ E), lekki, odporny na korozję

Materiał styku: stal nierdzewna 316L

Ciśnienie robocze: ≤1,5 ​​MPa (15 barów)

Temperatura pracy: -20°C do +60°C

Wilgotność: 0–95% RH (bez kondensacji)

Stopień ochrony: IP40 (pyłoszczelność, wnętrze/ogólne środowisko przemysłowe)

Instalacja: Dowolna instalacja pozioma/pionowa, nie jest wymagany prosty odcinek rury (zaleta MEMS Thermal)

4. Podstawowa charakterystyka

MEMS Thermal: bezpośredni pomiar przepływu masowego, brak kompensacji temperatury/ciśnienia, dokładność, wpływ wahań temperatury/ciśnienia

Bardzo niskie ciśnienie różnicowe: minimalna strata ciśnienia, odpowiednia do systemów o niskim ciśnieniu / małym przepływie

Wysoka stabilność: Mały dryft punktu zerowego, długoterminowa bezobsługowość

III. Główne zastosowania (precyzyjny pomiar małych średnic, gazów o niskim przepływie)

1. Półprzewodniki/elektronika (scenariusz podstawowy)

Azot o wysokiej czystości (N₂), tlen (O₂), argon (Ar), stosunek gazu procesowego i monitorowanie przepływu

Precyzyjna kontrola gazu o małym przepływie w przetwarzaniu płytek, dyfuzji, trawieniu i urządzeniach do osadzania

2. Medycyna/farmaceutyka

Monitorowanie przepływu tlenu/azotu w szpitalu (respiratory, aparaty do znieczulenia)

Sterylny gaz farmaceutyczny, gaz ochronny (N₂/Ar) Precyzyjny pomiar

3. Laboratorium / Badania

Mały współczynnik przepływu, mieszanie, monitorowanie gazów reakcyjnych gazów eksperymentalnych (N₂/O₂/Ar/CO₂)

Pomiar gazów o niskim przepływie do celów katalizy, spalania, pobierania próbek środowiskowych itp.

4. Automatyka przemysłowa

Stabilna kontrola małego przepływu gazu ochronnego podczas spawania (Ar/CO₂)

Monitorowanie przepływu precyzyjnego przetwarzania, przedmuch sprzętu kontrolnego / gaz ochronny

Mały Oddział Pomiaru Końcowego Zużycia Sprężonego Powietrza/Urządzenia

5. Środowisko / Nowa Energia

Monitorowanie pobierania próbek gazów spalinowych o niskim stężeniu, gazów wylotowych

Pomiar niskiego stężenia wodoru w wodorowych ogniwach paliwowych

Dane techniczne: