Zakres pomiarowy:0 ~ 50 SLPM
Powtarzalność:≤ 0,25%
Czas reakcji:10 ms (domyślnie)
Zakres:20,5% ~ 95,6% obj
Rozdzielczość koncentracji:0,1% obj
Dokładność koncentracji:±1,2% pełnej skali
Zakres:20,5% ~ 95,6% obj
Rozdzielczość koncentracji:0,1% obj
Dokładność koncentracji:±1,5% pełnej skali
Zakres stężeń O2::20,5% ~ 95,6% obj
Rozdzielczość koncentracji:0,1% obj
Dokładność koncentracji:±1,5% pełnej skali (5~45℃)
Pełna skala:100 SCCM
Zasilanie:+15 do +28 VDC (pojedyncze zasilanie)
Sygnał:0–5 V analogowe; obsługuje komunikację cyfrową RS485
Zasada pomiaru:MEMS-y termiczne
Dokładność:±(1,5 + 0,2% pełnej skali)
Zasilanie:12–24 V prądu stałego
Zalecane robocze natężenie przepływu:50 - 1000 ml/min
Wymiary zewnętrzne:Φ25,6 × 16 mm
Waga:4,8 g
Zasada:Termiczny czujnik przepływu masowego MEMS
Zmierzone średnie:powietrze, N₂, O₂, Ar, CO₂ itp.
Zakres przepływu:0–50 SLPM
Zakres:0–100 SCCM
Dokładność:±1,0%SP (≥35%FS)
Powtarzalność:±0,2% FS
MF5012:DN12mm
N4F:N = gwint NPT
Maksymalne ciśnienie robocze:1,5 MPa
Zakres przepływu:2–16 l/min
Dokładność:±3% pełnej skali; Powtarzalność: <2% FS
Zasilanie:18–28 V prądu stałego
Pełna skala:500 ml/min
Dokładność:± 3% FS
Powtarzalność:0,5% FS
Polish
