Zakres przepływów:0 ~ 2000 ... 6000
Dokładność:± (2,0+0,5FS)%
Współczynnik obniżenia:> 100: 1
Do użycia z:Suchy gaz
Zakres:+/- 200 cm/min
Dokładność:0,35%
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
Dryf wyjściowy zerowego punktu:+30 mV
Odchylenia wyjściowe:+0,12 %/OC
Działający zasilacz:8-18VDC, 100 mA
Ścieżka (n):2.3. 4. 5
Wskaźnik przepływu:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
Współczynnik zasięgu:100:1
Dokładność:± (1,5 + 0,2 * fs) %
Powtórzenie:0,75%
Dryf wyjściowy zerowego punktu:± 30 mV
Dokładność:± (1,5 + 0,2 * fs) %
Powtórzenie:0,75 %
Dryf wyjściowy zerowego punktu:± 30 mV
Wielkość portu:5,08 mm
Materiał powłoki:krzem
Maksymalna temperatura robocza:+ 85 °C
Dokładność pomiaru:1.5
Zakres przepływów:0-800L
Presja pracy:1 MPa
Numer modelu:MF5619
Zasada:Przepływomierz masy
Średnica nominalna:19mm
Powtarzalność:±0,25% pełnej skali
Czas odpowiedzi:10 ms (domyślnie, regulowane do 1000 ms za pośrednictwem oprogramowania)
Wskaźnik ciśnienia:2 MPa (290 psi) maksymalne ciśnienie robocze
Dokładność:± (1,5% odczytu + 0,2% pełnej skali)
Powtarzalność:±0,25% pełnej skali
Czas odpowiedzi:10 ms (domyślnie, regulowane do 1000 ms za pośrednictwem oprogramowania)