Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
Władza:11.4 ~ 25,2 V.
Zakres:0,5 ~ 10,1,8 ~ 32,5 ~ 85,9 ~ 150 l/min
Dokładność pełny zakres:x ± 1% (zakres <50%)
Zakres przepływów:0 ~ 2000 ... 6000
Dokładność:± (2,0+0,5FS)%
Współczynnik obniżenia:> 100: 1
Do użycia z:Suchy gaz
Zakres:+/- 200 cm/min
Dokładność:0,35%
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
Dryf wyjściowy zerowego punktu:+30 mV
Odchylenia wyjściowe:+0,12 %/OC
Działający zasilacz:8-18VDC, 100 mA
Ścieżka (n):2.3. 4. 5
Wskaźnik przepływu:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
Współczynnik zasięgu:100:1