Zakres miary:0 ~ 300 l/min
Wyjście:RS485
Dokładność:± 3%FS
Masowe natężenie przepływu:0 - 1000 SCCM
Dokładność:± 2 + 0,5 s) %
Czas odpowiedzi:8 ms
Napięcie zasilania:4,75-5,25 V.
wysoki poziom:4vdd
Niski poziom:0,8 V
Output mode:Analog voltage (0.5 - 4.5VDC)
Interface type:M5 screw hole or JST electrical interface
Repeatability:±1.0%
Measuring Range:0 to 100%
Working Pressure:±100 mbar
Operating Temperature Range:15 to 40°C
Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
Władza:11.4 ~ 25,2 V.
Zakres:0,5 ~ 10,1,8 ~ 32,5 ~ 85,9 ~ 150 l/min
Dokładność pełny zakres:x ± 1% (zakres <50%)